[发明专利]一种复合电极的体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010977498.2 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112134540A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;刘炎;蔡耀;邹杨;高超 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 吴楚 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种复合电极的体声波谐振器及其制备方法，包括带有空腔的衬底、复合下电极、压电层、上电极。其中，压电层在复合下电极和上电极之间。复合下电极含有第一下电极、种子层、温度补偿层和第二下电极。第一下电极和第二下电极通过刻蚀通孔后相连接；通孔贯穿温度补偿层和种子层。复合电极在一方面可以提高压电薄膜的质量，降低谐振器的温度频率系数；另一方面，消除了由于温度补偿层导致的寄生电容效应，提高了谐振器的耦合系数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 电极 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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