[发明专利]一种对位标记及其制备方法有效
| 申请号： | 202010979393.0 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112071823B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 卢绍祥;陆聪;陈媛;郭芳芳;李俊文;曾森茂 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆宗力 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种对位标记及其制备方法，其中，所述对位标记包括分别位于各层功能膜层上的标记图案，以及用于固定所有所述标记图案的固定膜层，所述固定膜层的延伸方向与所述功能膜层的表面相交，由于所述固定膜层的存在，使得各层功能膜层中的临时结构被刻蚀去除时，剩下的各层功能膜层不会出现塌陷现象，也避免了位于各层功能膜层上的标记图案由于功能膜层塌陷而出现对位精度下降的情况，解决了由于临时结构的移除而导致对位标记的对位精度的大幅下降的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对位 标记 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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