[发明专利]用于过程窗口表征的设备和方法有效
| 申请号： | 202010981365.2 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112198762B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 王德胜;万翔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种获得用于对图案化过程进行质量评定的检查部位的方法，所述方法包括：由一台或更多台计算机，利用多种不同的模拟来模拟所述图案化过程，每一个模拟依据所述图案化过程的不同过程特性，并且每一个模拟应用图案中的特征；针对不同的模拟中的每一个模拟，检测在相应的模拟结果中相应的模拟指示是不可接受的特征；和基于检测到的特征来选择所述特征的子集。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 过程 窗口 表征 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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