[发明专利]一种BCZT基高储能密度无铅弛豫铁电薄膜材料的制备方法

摘要

本发明涉及一种BCZT基高储能密度无铅弛豫铁电薄膜材料的制备方法，属于化学工程技术领域。一种BCZT基高储能密度无铅弛豫铁电薄膜材料的制备方法，包括以下步骤：1)将LaNiO3前驱体溶液旋涂于基片上制得第一湿膜；2)将步骤1)所得的第一湿膜干燥、热解，晶化制得单层LaNiO3薄膜；3)重复步骤1)和步骤2)，制得复合基底；4)将BCZT前驱体溶液旋涂于步骤3)制得复合基底上，制得第二湿膜；5)将步骤4)所得的第二湿膜干燥、热解，晶化制得单层BCZT薄膜；6)重复步骤4)和步骤5)制得多层BCZT薄膜。本发明可获得具有纯度高、致密性好、平均晶粒尺寸小、储能密度值大、储能效率高和热稳定性良好等优点的薄膜。