[发明专利]基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置及方法在审
| 申请号： | 202010983965.2 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN111954360A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 邓云坤;赵虎;王科;李兴文;赵现平;彭晶;焦琳;赵海波;周年荣 | 申请（专利权）人： | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 650217 云南省昆*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置及方法，装置包括放电腔体、进气口、出气口、混充模块、抽真空模块、电极和高压交流电源；放电腔体为立方体结构，放电腔体上设置有进气口和出气口；进气口与混充模块连接，出气口与抽真空模块连接；混充模块包括氦气储气罐和氩气储气罐，氦气储气罐的氦气和氩气储气罐的氩气在进气口处混合；放电腔体的壳体外部相对设置电极，电极与高压交流电源连接。同时结合氩气等离子体电子密度高和氦气等离子体均匀度好的优点，避免了氩气等离子体难以产生大面积均匀等离子体和氦气等离子体电子密度提升困难的问题，可获得大面积、均匀、电子密度条件范围宽的等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 混合气体 大面积 等离子体 发生 装置 方法 | ||
【主权项】：
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