[发明专利]一种用于光学玻璃表面的改善型匀胶方法在审
| 申请号： | 202010987216.7 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112015052A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 张威;周常河;刘年生;丁自强;由玉兴;马帅 | 申请（专利权）人： | 江苏星浪光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05D1/00;B05D3/04 |
| 代理公司： | 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 | 代理人： | 吴淑芳 |
| 地址： | 225600 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体工艺技术领域，具体涉及一种用于光学玻璃表面的改善型匀胶方法，包括以下几个步骤：步骤一：将基片置于匀胶台旋转头上，基片低速旋转，并将光刻胶滴入基片上，光刻胶在基片上铺展开；步骤二：提高所述步骤一中基片的旋转速度，使得基片高速转动，光刻胶在基片上变薄；步骤三：对所述步骤二中高速转动的基片进行排风干燥，去除胶层中多余的溶剂且排尽溶剂蒸气。该方法提高了膜厚均匀度，进而提高了光刻的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光学玻璃 表面 改善 型匀胶 方法 | ||
【主权项】：
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