[发明专利]一种氧化铜桥连纳米线器件及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202010987285.8 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112323017B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 孟钢;代甜甜;方晓东;邓赞红;周曙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/14;C23C14/58;G01N27/26;G01N21/17 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 魏玉娇 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于光电与传感技术领域，具体涉及一种氧化铜桥连纳米线器件及其制备方法和应用。该制备方法包括在有导电叉指电极的绝缘衬底上沉积有序银‑铜‑银薄膜阵列、通过退浸润、真空挥发银制得铜微米球阵列、热氧化制备氧化铜桥连纳米线器件。制得的氧化铜桥连纳米线器件结构上包括绝缘衬底、导电叉指电极、位于绝缘衬底和导电叉指电极上的有序氧化铜微米球‑纳米线，相邻氧化铜微米球上的纳米线相互桥连形成导电通道。本发明能够精确控制铜微球的直径、间距，从而可有效控制有序氧化铜微米球‑纳米线桥连器件的结构参数，大幅提升器件的气体、光电响应。本发明可实现器件的大面积、可控、批量化制备，推动氧化铜纳米线器件的实用开发。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化铜 纳米 器件 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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