[发明专利]一种声学谐振器组件及滤波器有效
| 申请号： | 202010990291.9 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112187212B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李林萍;盛荆浩;江舟 | 申请（专利权）人： | 杭州星阖科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人： | 陈远洋 |
| 地址： | 310016 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声学谐振器组件及滤波器，声学谐振器组件包括至少两个相互垂直连接的声学谐振器，声学谐振器包括：分别设置在衬底上的声学镜、底电极层、压电层以及顶电极层，声学谐振器的有效区域由声学镜、底电极层、压电层和顶电极层的重叠部分定义，声学谐振器还包括支撑层，其设置在声学镜投影于衬底的区域外围的衬底或压电层上，至少两个相互垂直连接的声学谐振器通过在支撑层上进行连接。本发明加工的滤波器显著降低器件的体积65％以及面积40％，提升了设计自由度而降低设计难度，优化了工艺制程并提高工艺兼容性，增强了产品性能又大幅度降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声学 谐振器 组件 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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