[发明专利]一种蓝宝石抛光组合物及其应用有效
| 申请号： | 202010992178.4 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112175524B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 崔晓坤;王庆伟;卞鹏程 | 申请（专利权）人： | 万华化学集团电子材料有限公司;万华化学集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石抛光组合物及其用途，所述抛光组合物至少包括以下质量百分比的组分：硅溶胶20％～40％、速率促进剂0.01％～2％、增稠剂0.5％～5％、润湿剂为0.01％‑2％、pH调节剂1％‑5％、余量为水。本发明提供的抛光液通过在硅溶胶中加入增稠剂，使体系的粘度有所增加，体系粘度的增加提高了抛光液与蓝宝石晶片之间的摩擦力，从而在一定程度上提高了蓝宝石晶片的抛光速率，在添加合适量增稠剂后去除速率最高可达5.4μm/h，表面粗糙度为0.302nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 抛光 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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