[发明专利]一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 202010993497.7 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112144115B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 张国忠;高文送;汪涵;朱海江;李国洪;朱燕亚 | 申请（专利权）人： | 无锡市尚领石英科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C03B5/02;C03B19/09;C03B20/00;C03C17/34 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 孙燕波 |
| 地址： | 214406 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法，包括石英坩埚本体和陶瓷涂层；所述陶瓷涂层包括氧化硅涂层、硼化锆涂层和氮化硅涂层，且沿石英坩埚本体内壁方向依次涂覆；所述氧化硅涂层为纳米氧化硅液体；所述硼化锆涂层包括硼化锆和纳米氧化硅液体；所述氮化硅涂层包括纳米碳化硅与纳米氮化硅。本发明公开了一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法及其制备方法，在石英坩埚本体上进行涂层涂覆，从而避免石英坩埚在进行拉晶高温作业时出现析晶、开裂、变形的情况，从而能够达到较长的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 寿命 变形 石英 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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