[发明专利]一种晶圆扫描装置及扫描方法

摘要

本发明公开了一种晶圆扫描装置及扫描方法，所述晶圆扫描装置用于安装在晶圆盒底部，晶圆盒内包括数个晶圆槽，所述晶圆扫描装置包括底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板垂直于底板并平行对置连接在底板之上，所述第一侧板上设有数个光电发射端，所述第二侧板设有数个光电接收端，每一个光电发射端与一个光电接收端一对一设置构成一组扫描组件，每组扫描组件内的光电发射端和光电接收端分别置于一个晶圆槽的两侧而形成错位扫描。本发明结构简单，使用方便，错位扫描有效提高准确性，且不接触不移动晶圆，不会对晶圆产生损伤。