[发明专利]一种离子注入机上进出料的切换装置在审
| 申请号： | 202010998775.8 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112103162A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 徐俊 | 申请（专利权）人： | 杭州易正科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 曹立成 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市西*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机上进出料的切换装置，包括矩形的基座，基座的中部成型有贯穿基座上、下端面的球面形卡槽，球面形卡槽内插接有承载座，承载座的外端面呈球面形并抵靠在球面形卡槽的内壁上；所述承载座前端的外壁上插接固定有旋转轴，旋转轴的前端插设在基座内并和旋转气缸的活塞杆相固接，旋转气缸固定在基座的前端面上；承载座上端面的中心成型有贯穿承载座右侧端面的上安置槽，上安置槽的左侧内壁上成型有上限位槽，上限位槽的左侧内壁上成型有贯穿承载座左侧外壁的上推料槽，基座的右侧外壁上成型有与上安置槽相对的进料槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 进出 切换 装置 | ||
【主权项】：
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