[发明专利]三电极式气体传感器及其制备方法和检测方法在审
| 申请号： | 202011000458.9 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112114007A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 潘明强;盛军;石泽铭;刘吉柱;王阳俊;陈立国;孙立宁 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/00 |
| 代理公司： | 苏州见山知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32421 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三电极式气体传感器，包括第一电极、包裹在所述第一电极表面的气敏层以及分别位于气敏层的两个相对表面上的叉指电极、加热电极，气敏层上设置有用于引出第一电极的外接口，叉指电极包括第二电极、与第二电极相配合的第三电极。本发明还公开了三电极式气体传感器的制备方法和检测方法。本发明通过对金属基板进行微弧氧化直接制成气敏层和第一电极，再通过丝网印刷的方法制备第二电极和第三电极，极大的简化了传感器的结构的加工工艺，且具有良好的可靠性，同时将加热电极集成在气敏层下表面，提供传感器所需的工作温度，利用三个信号电极之间在置于气体环境前后的信号变化，实现多种气体检测，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 气体 传感器 及其 制备 方法 检测 | ||
【主权项】：
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