[发明专利]一种铝及铝合金靶材坯料的制作方法在审
| 申请号： | 202011001765.9 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN111926297A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 高奇峰;徐东起;常艳超;周振坤;尤小磊 | 申请（专利权）人： | 爱发科电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/18;B22F3/24;B22F5/00;B22F7/04;B22F9/08;C22C1/02 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 顾品荧 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝及铝合金靶材坯料的制作方法，包括如下步骤：（1）配制金属料件，金属料件为铝或铝合金；（2）将金属料件投入熔炼炉中，控制熔炼温度在750℃‑780℃，并利用高纯氩气进行除气，得到料件熔体；（3）以高纯氮气作为雾化气体，将熔炼后的料件熔体喷射至沉积基板上，喷射完成后将沉积基板取出并进行快速冷却，得到高纯锭坯；（4）将高纯锭坯加热至150℃‑350℃，并在该温度下进行保温2h‑5h后，使用轧机对高纯锭坯进行轧制，得到轧制锭板；（5）对轧制锭板进行热处理，即得到靶材坯料。本发明的制作方法能制作出内部无缺陷、组织均匀、成分均一的靶材坯料，有效减少活泼金属靶材坯料制作时的安全问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝合金 坯料 制作方法 | ||
【主权项】：
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