[发明专利]基板表面缺陷检查方法在审
| 申请号： | 202011002389.5 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112630233A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 梅田秀俊;高松弘行;冈田拓郎;鹤见敏彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/94 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 海坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够在短时间内高效地检查铝基板的表面，从而检测微小的缺陷，并且能够辨别该缺陷是表面缺陷还是附着于表面的尘埃的基板表面缺陷检查方法。该基板表面缺陷检查方法包括：第一检查工序，在该第一检查工序中，使用拍摄铝基板(20)的整个面而得到的图像，对包含30μm以上的大小的缺陷的缺陷区域(21)进行提取；以及第二检查工序，在该第二检查工序中，基于由第一检查工序提取出的缺陷区域(21)的图像，辨别缺陷是表面缺陷还是附着于表面的尘埃。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检查 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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