[发明专利]一种晶圆的检测装置及其检测方法在审

专利信息
申请号: 202011004871.2 申请日: 2020-09-22
公开(公告)号: CN112117219A 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 霍建忠;朱万杰 申请(专利权)人: 苏州思达优科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及了晶圆生产加工领域,具体的是一种晶圆的检测装置及其检测方法,其中墨滴调整单元包括基盘、喷墨回收结构和喷墨单元切换机构,基盘用于承载喷墨单元喷射的墨滴,喷墨回收结构用于对基盘上的墨滴进行回收,喷墨单元切换机构用于切换不同的喷墨单元,以对晶圆进行连续性检测,避免了现有技术需要将基盘单独取下来进行清洗的缺陷,减少操作步骤,提高运行效率。本发明的有益效果在于:能够在喷墨单元喷墨异常时及时对喷墨单元进行切换,对喷墨单元进行调整时无需停止对晶圆的检测,提高晶圆检测和标记的连续性和可靠性;另外,喷墨回收结构能够对基盘上的墨滴进行快速清理,从而方便对喷墨单元的喷墨效果进行调整。
搜索关键词: 一种 检测 装置 及其 方法
【主权项】:
暂无信息
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