[发明专利]半导体封装及其制造方法在审
申请号: | 202011007355.5 | 申请日: | 2020-09-23 |
公开(公告)号: | CN112563229A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 吴伟诚;邱建嘉;谢正贤;许立翰;李孟灿;林宗澍 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/498;H01L23/31;H01L21/48;H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 薛恒;王琳 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体封装包括半导体管芯、重布线结构及连接端子。重布线结构设置在半导体管芯上且包括设置在一对介电层之间的第一金属化层级。第一金属化层级包括电连接到半导体管芯的路由导电迹线以及与半导体管芯电绝缘的屏蔽板片。连接端子包括虚设连接端子及有效连接端子。虚设连接端子设置在重布线结构上且电连接到屏蔽板片。有效连接端子设置在重布线结构上且电连接到路由导电迹线。虚设连接端子的垂直投影落在屏蔽板片上。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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