[发明专利]用于测定墨滴的光学系统在审
申请号: | 202011007776.8 | 申请日: | 2020-09-23 |
公开(公告)号: | CN113640218A | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 韩政洹 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/84;G01B11/00 |
代理公司: | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人: | 李英艳;玉昌峰 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开一种用于测定墨滴的光学系统。本公开的用于测定墨滴的光学系统包括:腔室;光学测定部,设置在腔室外部,并朝向基板照射光而测定墨滴的状态;光学部,设置在腔室内部,并位于光路径上;以及保护模组,具备移动部和辊部,移动部配置于光学部周围并进行升降运动,辊部向光学部和基板之间供应膜。 | ||
搜索关键词: | 用于 测定 光学系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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