[发明专利]一种大口径高压金属软管内壁镀膜装置及方法有效
| 申请号： | 202011008198.X | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN111962038B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 郭精义;夏虎峰;刘凯;何林林;刘荣刚;张磊 | 申请（专利权）人： | 兰州天亿石化设备维修技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 邓芸 |
| 地址： | 730060 甘肃省兰州市西固区*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种大口径高压金属软管内壁镀膜装置及方法，涉及金属管件内壁镀膜技术领域。该装置包括真空腔室、真空检测系统、抽真空系统，真空腔室内部装有三个水平设置的溅射靶源，真空腔室外部上方设有第一驱动电源、第二驱动电源、第三驱动电源，第一驱动电源、第二驱动电源、第三驱动电源分别通过电源线与三个溅射靶源电连接；真空检测系统安装于真空腔室外侧壁，抽真空系统通过管道与真空腔室底部连通；溅射靶源下方还设有可圆周转动及上下移动的样品转架。利用该装置对金属软管内表面进行改性处理，以达到更好的耐磨耐饰性能，延长其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 高压 金属软管 内壁 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
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