[发明专利]一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计在审
| 申请号： | 202011008450.7 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN111965955A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 张兴强 | 申请（专利权）人： | 湖北汽车工业学院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 杨采良 |
| 地址： | 442002 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计，包括毛细管，所述毛细管位于放电室内，所述毛细管呈圆柱形，在毛细管两端均设有电极，毛细管两端的电极与电源相连接形成回路，所述毛细管两端的电极包括高压电极和接地电极，高压电极的长度大于接地电极的长度，高压电极和接地电极通电产生等离子体，在毛细管内充有工作气体，本发明中毛细管内产生的三束等离子体经过耦合，可以极大地提高等离子体的发光功率，满足极紫外光刻生产的需求；三束等离子体耦合光源单次发光的功率较高，这大大地降低了放电的重复频率，光刻生产的废品率也得到了很好的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 毛细管 放电 等离子体 耦合 光源 设计 | ||
【主权项】：
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