[发明专利]一种硅微谐振式加速度计非线性振动确定方法有效
| 申请号： | 202011009011.8 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112114164B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李艳;宋林珂;靳彪;李昊 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学（北京） |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计非线性振动确定方法，步骤：(1)建立硅微谐振式加速度计的谐振梁非线性振动模型；(2)硅微谐振式加速度计非线性振动的不确定分析；(3)硅微谐振式加速度计输入参数对非线性振动的影响。忽略梳齿的转动惯量，简化梳齿为质点，建立带梳齿结构的谐振器非线性振动模型；建立样本随机模型，对输入参数进行随机收敛分析得到最小样本数，将确定的输入参数代入谐振梁非线性振动模型得到对应的输出参数；根据输出参数四分位差随输入参数方差系数的变化，分析输入参数对非线性振动的影响。本发明克服由于输入和输出参数的不确定性，无法分析其对非线性振动的影响程度问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 加速度计 非线性 振动 确定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国矿业大学（北京），未经中国矿业大学（北京）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011009011.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
