[发明专利]显示母板、显示母板的制备方法和对位方法在审
申请号: | 202011009790.1 | 申请日: | 2020-09-23 |
公开(公告)号: | CN112117316A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 李硕;石领;何源 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L23/544;G03F9/00 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 王辉;阚梓瑄 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种显示母板、显示母板的制备方法和对位方法。显示母板包括阵列基板,阵列基板上设有对位标记和彩膜层,彩膜层中遮光层位于对位标记区的部分包括第一遮光部和第二遮光部;第一遮光部覆盖对位标记,第二遮光部覆盖对位标记区内对位标记以外的区域;第一遮光部和第二遮光部的上表面不在同一平面。该显示母板在后续工艺进行对位时,由于遮光层在对位标记区存在高度断差而形成了与对位标记相同的结构,曝光机曝光时能够显示出对位标记相同的图案,直接抓取该图案即可进行对位。该对位方法的对位效率高,且对位准确,提升了显示面板的产能和良率。 | ||
搜索关键词: | 显示 母板 制备 方法 对位 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
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