[发明专利]显示母板、显示母板的制备方法和对位方法在审

专利信息
申请号: 202011009790.1 申请日: 2020-09-23
公开(公告)号: CN112117316A 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 李硕;石领;何源 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/52;H01L23/544;G03F9/00
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 王辉;阚梓瑄
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种显示母板、显示母板的制备方法和对位方法。显示母板包括阵列基板,阵列基板上设有对位标记和彩膜层,彩膜层中遮光层位于对位标记区的部分包括第一遮光部和第二遮光部;第一遮光部覆盖对位标记,第二遮光部覆盖对位标记区内对位标记以外的区域;第一遮光部和第二遮光部的上表面不在同一平面。该显示母板在后续工艺进行对位时,由于遮光层在对位标记区存在高度断差而形成了与对位标记相同的结构,曝光机曝光时能够显示出对位标记相同的图案,直接抓取该图案即可进行对位。该对位方法的对位效率高,且对位准确,提升了显示面板的产能和良率。
搜索关键词: 显示 母板 制备 方法 对位
【主权项】:
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