[发明专利]一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管有效
| 申请号： | 202011011400.4 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112144121B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 孙德相 | 申请（专利权）人： | 江苏悦阳光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人： | 王小芳 |
| 地址： | 224700 江苏省盐城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池片制造技术领域，且公开了一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，包括炉管，所述炉管的内部设置有石英舟，所述石英舟上放置有硅片，所述石英舟位于炉管的中心，所述炉管的内腔固定套接有进气管和尾气排放管，所述尾气排放管位于进气管的侧面，所述进气管和尾气排放管的数量均为两个且相对于炉管的轴线对称分布。本发明通过利用内管中的螺旋片降低反应气体的流速，给反应气体足够的时间预热，缩减反应气体与炉管内腔的温度差，从而达到减少甚至消除反应气体由于受热膨胀导致的紊乱情况，保证扩散工艺的正常进行；另外通过螺旋片的阻挡作用，促进反应气体混合均匀，提高扩散工艺的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 制造 扩散 炉管 | ||
【主权项】：
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