[发明专利]一种微透镜的制备方法在审
| 申请号： | 202011012181.1 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN111948743A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 邓群雄;覃志伟;席庆男 | 申请（专利权）人： | 山东元旭光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 马春燕 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微透镜的制备方法，包括以下步骤：准备基板和具有透光孔的光刻版、且两者具有一定间距；在基板的蚀刻侧匀上光刻胶；光刻版向基板移动并输出变化的曝光量，位于光刻版遮光区的光刻胶处于光衍射的辐射中，随着光刻版与光刻胶间距的缩小，光衍射的辐射区域逐步缩小，使光刻胶本被遮光的区域形成边沿具有曲度的曝光区域，由此曝光显影后在基板上成型了进行刻蚀的光刻胶形貌；对基板进行等离子体刻蚀，将光刻胶形貌复制到基板上以成型微透镜。利用光衍射原理对光刻胶进行形貌修饰、并得到光刻胶形貌，加工工序简单可控，微透镜的成型一致性高，有效提高了工作效率，且成本低，适用于微小尺寸微透镜的成型。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透镜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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