[发明专利]等离子清洗机在审
| 申请号： | 202011013982.X | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112222107A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 朱霆;叶贤斌;李文强;杨建新;张凯 | 申请（专利权）人： | 深圳泰德半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人： | 刘冰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种等离子清洗机。所述等离子清洗机包括清洗机本体、安装件、夹持治具及调节装置。其中，所述清洗机本体包括控制器；所述安装件安装于所述清洗机本体上；所述夹持治具安装于所述安装件上，所述夹持治具具有夹槽，所述夹槽的宽度可调；所述调节装置安装于所述夹持治具的一侧，所述调节装置与所述控制器电连接，所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。本发明的等离子清洗机，能够提高夹持治具的兼容性，以提高等离子清洗机的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 清洗 | ||
【主权项】：
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