[发明专利]用于超快TEM应用的带有快速消隐器的脉冲式CFE电子源在审
| 申请号： | 202011015762.0 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112563097A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘坤;E·基夫特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/073;H01J37/147;H01J37/285 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李雪娜;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用射束消隐器/偏转器和电脉冲提取电极结合场发射器和枪透镜对带电粒子束（CPB）进行调制。通过此类调制，CPB可以根据特定应用的需要提供脉冲模式和连续模式操作，同时平均CPB电流维持在预定水平内，例如维持在促进X射线安全操作的水平内。所述提取电极或所述射束消隐器/偏转器可以限定CPB脉冲宽度、CPB开/关比或这两者。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 tem 应用 带有 快速 消隐器 脉冲 cfe 电子 | ||
【主权项】：
暂无信息
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