[发明专利]半导体工艺设备及其控制装置在审
| 申请号： | 202011016299.1 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112083642A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 丁斌;文莉辉;李晓强;陈春伟;宋鹏飞 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B7/02 | 分类号： | G05B7/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;魏艳新 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种半导体工艺设备中的控制装置，涉及半导体加工技术领域，该控制装置包括：控制模块、传输模块、切换模块和多个输入模块，切换模块与多个输入模块连接；切换模块用于响应于用户的操作，将多个输入模块中的一个输入模块与传输模块导通，并将其他输入模块与传输模块断开；传输模块还与控制模块连接，传输模块用于将接收到的输入模块的控制信号传输至控制模块。本发明还提供了一种半导体工艺设备。本发明可以防止多个输入模块同时对控制模块进行操作，避免由此引起的误操作，提高设备的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 工艺设备 及其 控制 装置 | ||
【主权项】：
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