[发明专利]基板处理装置有效
| 申请号： | 202011019558.6 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112570331B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 内田雄三;菊本宪幸;河原启之 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;宋晓宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置，对基板进行清洗处理，所述基板处理装置包括：分度器区，具有分度器机械手；处理区，作为处理单元，具有表面清洗单元以及背面清洗单元；以及翻转路径区，具有载置基板的多层搁板，并且具有翻转功能，所述分度器机械手具有导轨、基台部、多关节臂以及手部，所述导轨配置于不与所述翻转路径区中的基板的载置位置重叠的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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