[发明专利]一种薄膜体声波谐振滤波器

摘要

本发明公开了一种薄膜体声波谐振滤波器，具有高的品质因数(Q)和高的机电耦合系数(Kt2)，满足高频通信系统的要求。该薄膜体声波谐振滤波器包括顶部电极边缘处台阶、顶部电极、压电薄膜、底部电极、带有空气背腔的绝缘支撑层。本发明在顶部电极边缘处设计了第一台阶、第二台阶和第三台阶，用于反射兰姆波(Lamb waves)。通过对顶部各级台阶长度、宽度、厚度的设计，对寄生谐振具有最佳的抑制效果，有效消除了薄膜体声波谐振滤波器的相位响应中的纹波。通过优化设计，该薄膜体声波谐振滤波器具有高的品质因数(Q)，高的机电耦合系数低的寄生谐振和平坦的相位响应特性，使得该发明可以应用于低噪声滤波器和其他射频应用。