[发明专利]一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备和方法在审
| 申请号： | 202011021503.9 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112192324A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 柴旭;王宜豹;盖志刚;姜辛;郭风祥;张妹;陈志刚;王韶琰;孙小玲;胡鼎;刘寿生;张丽丽 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B27/033;B24B29/02;B24C1/08 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 马千会 |
| 地址： | 266200 山东省青岛市鳌山卫街*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于金属表面处理技术领域，具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，包括抛光装置、化学处理装置和样品转移装置；所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成，所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本发明的设备和方法，通过对基片依次进行抛光处理、化学处理和喷砂处理，有效增加基片的表面粗糙度，增加电极水处理面积；提高薄膜与基底的结合性能，延长电极使用寿命，降低电极使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 掺杂 金刚石 基底 表面 处理 自动化 设备 方法 | ||
【主权项】：
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