[发明专利]基于滤光器阵列的光谱分析模组提高分辨率的方法在审
| 申请号： | 202011022860.7 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN114252154A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 孙志军 | 申请（专利权）人： | 厦门脉驰科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 厦门市天富勤知识产权代理事务所(普通合伙) 35244 | 代理人： | 顾克帅 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了对基于具有金属微纳结构的滤光器阵列的光谱分析模组提高分辨率的方法，主要涉及对滤光器阵列中各个滤光器单元的结构参数变量的布局规划，其中将所有滤光器单元划分为若干个滤光器单元群，通过在不同的滤光器单元群之间实现对滤光器单元纵向结构参数的调变，实现对滤光器阵列中不同滤光器单元的透射光谱中特征波长的变化步长的精细调控。本发明提供的方法使对滤光器单元的纵向结构参数进行调变的工艺变得简单、可控，克服了仅靠有限的微纳加工工艺精度对滤光器单元的横向结构参数变量的控制精度的不足而对所述光谱分析模组分辨率的制约。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 滤光 阵列 光谱分析 模组 提高 分辨率 方法 | ||
【主权项】：
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