[发明专利]一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置在审
| 申请号： | 202011024209.3 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112176311A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 李国强;舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C16/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 湖南格创知识产权代理事务所(普通合伙) 43263 | 代理人： | 张文 |
| 地址： | 411100 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置，包括固定板、拉伸气缸、活动杆、活动板，所述固定板固定在真空室抽气口处，在固定板上沿垂直方向设置有多个开口，所述拉伸气缸固定在真空室抽气口的顶板上，拉伸气缸的活塞杆端通过连接套与活动杆连接，所述活动杆延伸至真空室抽气口内，在活动杆上固定有多块活动板，所述活动板与固定板上的开口相匹配，拉伸气缸通过活动杆带动活动板上下移动，从而实现对固定板上的开口的封闭和开启。本发明的用于真空镀膜设备的简易格栅装置结构简单、拆卸方便、能耐高温、加工便捷、成本低廉，易损备件都是常规产品，有效降低了生产成本和提高了运行效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 设备 简易 格栅 装置 | ||
【主权项】：
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