[发明专利]一种EMCCD电荷转移效率的测试方法有效

专利信息
申请号: 202011026774.3 申请日: 2020-09-25
公开(公告)号: CN112269075B 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 焦贵忠;孙丽丽;田波;卜令旗 申请(专利权)人: 华东光电集成器件研究所
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 代理人: 陈俊
地址: 233030 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种EMCCD电荷转移效率的测试方法,包括以下步骤:a、采用非倍增模式,测量EMCCD的非倍增输出信号电荷在转移前的数值V2,并记录此时所有的交直流电极数据、温度数据与光照数据;b、采用倍增模式,交直流电极数据、温度数据与光照数据按照步骤a执行,单独调节倍增电极,测量EMCCD的倍增输出信号电荷在转移前的数值V1;c、将V1与V2代入公式,计算得到EMCCD电荷转移效率;该方法基于EMCCD已有的版图结构,无需更改电路版图与工艺,能够对EMCCD的电荷转移效率准确的测试与计算。
搜索关键词: 一种 emccd 电荷 转移 效率 测试 方法
【主权项】:
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