[发明专利]一种利用离焦差分平场矫正检测镜头洁净度的方法有效
| 申请号： | 202011029849.3 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112326681B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 何姜;周威;张斌 | 申请（专利权）人： | 南京茂莱光学科技股份有限公司;茂莱(南京)仪器有限公司;南京茂莱精密测量系统有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01N21/88 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李倩 |
| 地址： | 211100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用离焦差分平场矫正检测镜头洁净度的方法，包括如下步骤：一、搭建平场测试光路；二、确定相机感光面与待测镜头后焦面距离，测量不同离焦下的明场图像数据和暗场图像数据；三、针对每个像素，进行离焦差分平场校正运算；四、将各个像素的离焦差分结果的矩阵以图像形式显示，进行镜头洁净度的判断。本发明利用不同离焦进行差分平场矫正，可以抑制大角度视场低相对照度的影响，提高大视场范围的信噪比，可二次增强待检测杂质成像的信噪比，可以对杂质成像进行边缘增强，可以放大待检测杂质的可观测范围，可以统一杂质的可观测模式，最小可分辨尺寸为探测器像素大小(um量级)，综合以上各种因素提高检测成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 离焦差分平场 矫正 检测 镜头 洁净 方法 | ||
【主权项】：
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