[发明专利]一种微导线连接装置

摘要

本发明专利公开了一种微导线连接装置，属于电化学加工技术领域。该装置包括电沉积单元、芯片定位单元、溶液循环单元、Z向移动单元、水平移动单元。其中，电沉积单元由喷头、喷头盖、环状阳极和套管组成。装配后，套管的圆锥部位的内表面和与之配合的喷头的圆锥部位的外表面形成下端开放、上端密封的空腔。泵开始工作时，电解液从电沉积单元的出液口流出、流经微导线和芯片表面、从吸液口被吸入电沉积单元下端的空腔，然后从电解液出口孔返回到溶液循环单元。本发明可在芯片表面形成可控的电沉积微小区域，实现微细导线与微小芯片在竖直方向的快速定位和连接，定位精确度高，限域性好。