[发明专利]一种凸轮结构插板阀装置在审
| 申请号： | 202011037781.3 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112063989A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 李小军;张华林;唐鑫;光宣标 | 申请（专利权）人： | 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳余梅专利代理事务所(特殊普通合伙) 44519 | 代理人： | 陈余才 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明为一种凸轮结构插板阀装置，涉及插板阀领域，解决了在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患的问题。技术特征包括:插板阀；第一真空箱体，所述第一真空箱体安裝于插板阀上。彻底解決了连续真空磁控溅射镀膜装置中內漏问题(內漏用检漏仪检测困难)，将使连续真空磁控溅射镀膜线的稳定性和真空环境得到质的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 凸轮 结构 插板 装置 | ||
【主权项】：
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