[发明专利]一种光开关在审
| 申请号： | 202011039770.9 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112130352A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 梁宇鑫;崔乃迪;冯靖;冯俊波;郭进;刘柳 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02B6/122 |
| 代理公司： | 江苏坤象律师事务所 32393 | 代理人： | 赵新民 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光开关，包括第一无源波导结构、第二无源波导结构和有源波导结构，有源波导结构设于第一无源波导结构和第二无源波导结构之间；第一无源波导结构和第二无源波导结构均采用氮化硅材料制备形成，有源波导结构采用铌酸锂薄膜材料制备形成；本申请提出的光开关将氮化硅的较低传输损耗的优势与铌酸锂薄膜的优异的电光特性的优势结合，使得两种材料混合集成的光开关具有低损耗、快开关速度与低功耗等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开关 | ||
【主权项】：
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