[发明专利]带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备在审
| 申请号： | 202011040473.6 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112051715A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 成荣;朱煜;张鸣;杨开明;刘相波 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 董永辉;曹素云 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种带精密测量的可控升降装置及光刻设备，装置包括固定基座、导向座、移动组件、驱动组件，固定基座与导向座固定连接，固定基座上有轴线竖向的导向套，移动组件包括升降头、导向杆、磁钢，导向杆上端有安装孔，导向杆穿过导向套，导向杆与导向套以及固定基座、导向座之间形成气浮接触面；磁钢、升降头依次装入导向杆的安装孔，使升降头伸出导向套的上端部，驱动组件包括电机线圈和铁芯，铁芯设置在导向杆与导向套之间的环形空间内，电机线圈缠绕在铁芯上，移动组件中心有气孔，固定基座通过导向杆的气道向气孔提供正压或负压气体。本发明采用气浮接触面导向减少零部件之间的摩擦，避免颗粒产生，并提高运动精度，减少电机驱动力要求。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 测量 可控 升降 装置 以及 包含 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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