[发明专利]一种氦气回收装置及方法有效
申请号: | 202011041615.0 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN112275099B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 武湛君;孙涛;李世超;刘新;袁玉环 | 申请(专利权)人: | 江苏君澄空间科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/22 | 分类号: | B01D53/22;C01B23/00 |
代理公司: | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525 | 代理人: | 张腾 |
地址: | 214437 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种氦气回收装置及方法,该回收装置包括:减压阀、与所述减压阀通过管道依次相连的第一温度控制器和流量控制器、与所述流量控制器相连的压力传感器、与所述压力传感器相连的一级三通阀、连接在所述一级三通阀一端的一级膜分离器、依次连接在所述一级膜分离器上层的单向阀、第一气体压缩机构和氮气储存器、通过管道依次连接在所述一级膜分离器下层的第二气体压缩机构和第二温度控制器、与所述第二温度控制器相连的二级三通阀。本发明氦气回收装置可将氦气与氮气的混合气体进行分离,从而获得高纯度的氦气和氮气,用于下一次打压测试,避免了气体的浪费,降低测试成本,而且结构紧凑,存放空间增幅不大。 | ||
搜索关键词: | 一种 氦气 回收 装置 方法 | ||
【主权项】:
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