[发明专利]一种三维微型传感器用微纳原电池的制备方法有效
| 申请号： | 202011042603.X | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112133884B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 倪增磊;高志廷;王艳红 | 申请（专利权）人： | 华北水利水电大学 |
| 主分类号： | H01M4/08 | 分类号： | H01M4/08;H01M4/04;H01M4/38;H01M4/42;H01M6/04;H01M6/00;H01M50/403;H01M50/431;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 李现艳 |
| 地址： | 450000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
一种三维微型传感器用微纳原电池的制备方法，所述微纳原电池包括金属阳极层、绝缘层、阴极层、电解质通孔和阳极孔，其制备方法包括以下步骤：采用直流偏压模式在硅体上生长制备出厚度为400~500μm的金属阳极层；采用射频模式在金属阳极上制备厚度为200~1000nm的绝缘层；生长石墨阴极层，石墨厚度为2~3μm；在高浓度等离子刻蚀机上，使用Cl |
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| 搜索关键词： | 一种 三维 微型 传感 器用 原电池 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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