[发明专利]一种熔石英强激光光学元件超精密加工方法在审
| 申请号： | 202011043621.X | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112157486A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 戴一帆;彭小强;胡皓;关朝亮 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及强激光光学元件加工技术，针对现有技术加工周期长、效率低、加工精度不确定的问题，提供一种“超精密磨削→磁流变快速抛光→酸洗”为核心的熔石英强激光光学元件短流程低损伤高精度的超精密加工方法，实施步骤包括：对熔石英元件进行超精密磨削；对超精密磨削后的熔石英元件进行磁流变抛光修形；对磁流变快速抛光后的熔石英元件进行动态酸蚀刻，清洗并烘干；终检，完成对熔石英强激光光学元件的检验。本发明工艺流程简单、可操作性强、加工周期短，保证熔石英强激光元件表面精度的同时，实现了元件表面/亚表面低损伤，具有优良的抗激光损伤性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 激光 光学 元件 精密 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国人民解放军国防科技大学，未经中国人民解放军国防科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011043621.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
