[发明专利]旋转驱动装置在审
| 申请号： | 202011045241.X | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112593198A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 梅津琢治 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种旋转驱动装置，其能够抑制基板的落下。旋转驱动装置(100)具备使保持基板的承载部(110)旋转的旋转机构，其特征在于，具备：框体(150)，所述框体(150)具有沿着承载部(110)保持的基板(10)的外周设置的外周框部(151)，在基板(10)从承载部(110)落下时，框体(150)承接基板(10)；以及往复移动机构(160)，所述往复移动机构(160)使框体(150)往复移动，以便能够变更框体(150)与承载部(110)的相对面间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 驱动 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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