[发明专利]一种用于湿法刻蚀的带液滚轮及湿法刻蚀方法在审
| 申请号： | 202011054898.2 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112309913A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 卢林;陈斌;王云露 | 申请（专利权）人： | 晶澳（扬州）太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/306;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 侯永帅 |
| 地址： | 225009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于湿法刻蚀的带液滚轮及其湿法刻蚀方法，属于太阳能电池制作技术领域，解决了现有技术中太阳能电池制作过程中滚轮水平异常的问题。本发明的用于湿法刻蚀的带液滚轮包括第一端轴(110)、第二端轴(120)和带液轴(130)，第一端轴(110)和第二端轴(120)分别位于带液轴(130)的两端，第一端轴(110)、第二端轴(120)与带液轴(130)同心设置，第一端轴(110)和第二端轴(120)的直径均能够调节。本发明的带液轴的两端轴直径可调，当带液滚轮两端磨损或刻蚀槽加工精度导致的滚轮水平异常时，保证带液滚轮在支架上的水平状态，在保证太阳能电池刻蚀过程质量的同时，大大降低湿法刻蚀设备的运行成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 湿法 刻蚀 滚轮 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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