[发明专利]一种掩膜版传输方法有效
| 申请号： | 202011055974.1 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN114313984B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 王军伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G29/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种掩膜版传输方法，该方法根据掩膜版沿第二方向的尺寸和掩膜版的初始位置，先控制机械手采用沿托盘指向旋转台方向的第1组至第n组吸盘于托盘中吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从托盘传输至旋转台的前端；再控制机械手沿旋转台指向托盘方向运动第一距离，采用沿旋转台指向托盘方向的第1组至第n组吸盘于旋转台前端吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从旋转台的前端传输至后端；充分的利用了版叉长度，使得夹爪能够于旋转台的后端仅用一个步骤便可将掩膜版传输至工件台，减少了将掩膜版从托盘传输至工件台的时间，提高了掩膜版传输效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 传输 方法 | ||
【主权项】：
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