[发明专利]一种条形中红外波导结构在审
| 申请号： | 202011059619.1 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112099137A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 冯松;冯露露;胡祥建;薛斌;李连碧 | 申请（专利权）人： | 西安工程大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/10 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 张皎 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明的目的是提供一种条形中红外波导结构，包括Si衬底层，Si衬底层的顶部设置有相互间隔的条形SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 条形 红外 波导 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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