[发明专利]体声波谐振器、掺杂浓度确定方法、滤波器及电子设备在审
申请号: | 202011061186.3 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN114337571A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 庞慰;徐洋;杨清瑞;张孟伦 | 申请(专利权)人: | 诺思(天津)微系统有限责任公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54 |
代理公司: | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人: | 汤雄军 |
地址: | 300462 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: |
本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极;压电层;和顶电极,其中:所述压电层为包括掺杂元素的压电层,所述掺杂元素具有对应的掺杂浓度,所述谐振器具有层厚比E/P,所述谐振器具有机电耦合系数Kt |
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搜索关键词: | 声波 谐振器 掺杂 浓度 确定 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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