[发明专利]体声波谐振器、掺杂浓度确定方法、滤波器及电子设备在审

专利信息
申请号: 202011061186.3 申请日: 2020-09-30
公开(公告)号: CN114337571A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 庞慰;徐洋;杨清瑞;张孟伦 申请(专利权)人: 诺思(天津)微系统有限责任公司
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54
代理公司: 北京金诚同达律师事务所 11651 代理人: 汤雄军
地址: 300462 天津市*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极;压电层;和顶电极,其中:所述压电层为包括掺杂元素的压电层,所述掺杂元素具有对应的掺杂浓度,所述谐振器具有层厚比E/P,所述谐振器具有机电耦合系数Kt2,所述掺杂浓度不小于a1,a1为谐振器层厚比E/P=0.75时所述机电耦合系数Kt2对应的掺杂浓度。本发明还涉及一种掺杂浓度确定方法,所述掺杂浓度为体声波谐振器的压电层的掺杂元素的掺杂浓度,所述谐振器具有机电耦合系数Kt2,所述谐振器具有层厚比E/P,所述方法包括步骤:基于层厚比E/P,选择所述掺杂浓度不小于a1,a1为谐振器层厚比E/P=0.75时所述机电耦合系数Kt2对应的掺杂浓度。本发明也涉及一种滤波器和一种电子设备。
搜索关键词: 声波 谐振器 掺杂 浓度 确定 方法 滤波器 电子设备
【主权项】:
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