[发明专利]一种高载流子浓度炭膜材料的制备方法有效
| 申请号： | 202011062248.2 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112267100B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 赵志鹏;卢璐;邓晗;徐洪峰 | 申请（专利权）人： | 大连交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54;C23C16/26 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 周莹;李馨 |
| 地址： | 116028 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明属于表面加工、涂层技术领域，具体涉及一种高载流子浓度炭膜材料的制备方法。本发明方法在基片表面利用直流脉冲磁控溅射方法制备炭膜材料，直流脉冲磁控溅射的工作气体为氩气和碳氢气体；通过控制直流脉冲磁控溅射过程中碳靶表面磁控溅射的功率密度1.0‑5.5W/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 载流子 浓度 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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