[发明专利]一种激光功率可控的小型化VCSEL激光器在审
| 申请号： | 202011074105.3 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN112202050A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 李川川;韦欣;李健;谢新宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/0233;H01S5/024;H01S5/026;H01S5/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光功率可控的小型化VCSEL激光器，包括：VCSEL器件(6)，直接裸管，或与过渡支架(15)结合，形成VCSEL组件；光电探测器芯片(8)与控制电路芯片(7)组成集成芯片(12)，集成芯片(12)用于探测VCSEL器件(6)出射的光，并对VCSEL器件(6)光的输出进行调控；VCSEL组件、集成芯片混合集成组装于热沉(14)上，管帽(11)与之形成封装结构，组成一体化器件。本发明提供的激光器体积小、制备工序简便、便于组装至各种模块及装置装备中，可以实现激光功率一致的大面积阵列集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 功率 可控 小型化 vcsel 激光器 | ||
【主权项】：
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