[发明专利]一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置有效
| 申请号： | 202011075185.4 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN112210775B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 郭馨;江锐;王倩;崔惠绒;周翊;赵江山;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C23C24/10 | 分类号： | C23C24/10;H01S3/03 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置，涉及准分子激光器放电腔用涂层制造技术领域，以解决零件被卤素工作气体腐蚀生成有害气体以及放电产生的声波、激波引起放电环境不稳定的问题，从而影响激光器的输出性能的问题。所述零件涂层制备装置，包括：真空样品室，送粉装置，用于向真空样品室内的零件表面提供涂层粉末。涂层粉末的材质至少包括高熵合金。激光成形装置，用于对送粉装置提供的涂层粉末进行成形处理，得到零件涂层，所述零件涂层至少包括致密涂层和形成于致密涂层上的多孔涂层。所述零件涂层制备方法包括上述技术方案所提的零件涂层制备装置。本发明提供的零件涂层制备装置用于制备零件涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 零件 涂层 制备 装置 方法 终端 | ||
【主权项】：
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