[发明专利]一种基于MEMS微器件制造的电化学沉积镀槽在审
| 申请号： | 202011076105.7 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112195495A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王慧颖;谢立东;陈文国;王瑞;孔德剑 | 申请（专利权）人： | 曲靖师范学院 |
| 主分类号： | C25D17/02 | 分类号： | C25D17/02;C25D17/00;C25D21/18;C25D21/10;C25D21/12;C25D21/04;C25D5/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 云南省曲靖市专利事务所 53104 | 代理人： | 周厚明 |
| 地址： | 655011 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明属于电化学沉积技术领域，具体涉及一种基于MEMS微器件制造的电化学沉积镀槽，包括外镀槽体和内镀槽体。外镀槽体为顶部开口的圆柱形腔体，外镀槽体底部连接有回流管，回流管上连接有泵，泵上连接有进/出液管。内镀槽体为顶部开口底部为弧形的圆柱形腔体，内镀槽体置于外镀槽体内，内外镀槽体顶部密封固定，外镀槽体内壁与内镀槽体外壁形成一密封腔体，槽体顶部设有密封盖。内镀槽体底部与泵连接，内镀槽体内设有桨叶、遮蔽板、振荡器、阴极板和阳极板，内镀槽体内设有阴极排液口和阳极排液口，密封盖上设有真空计和抽真孔。有益效果：循环利用镀液、节省资源，镀件表面镀层更加均匀平整、光滑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 器件 制造 电化学 沉积 | ||
【主权项】：
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